A. Lɔ̈ɔ̈i de ICP:
1) ye tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈
2) Lɔ̈k kä ye kek tɔ̈ɔ̈u, ku lɔ̈k kä ye kek tɔ̈ɔ̈u, ku lɔ̈k kä ye kek tɔ̈ɔ̈u;
3) ye tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈
4) ye tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈
2. ICP ye tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë tɛ̈n yenë
1) Lɔ̈k bɛ̈ɛ̈i, fan, ku jɔl ya tɛ̈n yenë kek tɔ̈ɔ̈u thïn
2) Kɔl ye kɔl ye kɔl ye kɔl ye kɔl ye kɔl ye kɔl ye kɔl ye kɔl ye kɔl ye kɔl ye kɔl ye kɔl ye kɔl ye kɔl ye kɔl ye kɔl
3) Lɔ̈k koom koom koom koom koom koom koom koom koom koom koom koom koom koom koom koom koom koom koom koom koom koom koom koom koom koom koom koom koom
4) Vacuum tube connector, electromagnetic valve switch sealability check adjust beam gap position
5) Vacuum pump performance check, replacement pump oil, sealing ring, molecular sieve
6) Lɔ̈k bï gas cylinder ya tɔ̈ɔ̈u ka tɔ̈ɔ̈u ka tɔ̈ɔ̈u ka tɔ̈ɔ̈u ka tɔ̈ɔ̈u ka tɔ̈ɔ̈u
7) Gɛ̈ɛ̈r de gas, sensor de gas, ku jɔl
8) RF high frequency generator dust removal maintenance, vacuum light chamber maintenance
9 ) Lɔ̈ɔ̈m tënë kɔc ye luɔɔi